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集成電路制造中微納計量與檢測技術

來源: 計測學院 作者:胡曉峰 添加日期:2019-09-16 15:58:52 閱讀次數(shù):

報告人:周維虎
  報告內容:介紹中國科學院集成電路創(chuàng)新研究院發(fā)展規(guī)劃,集成電路制造中微納測量技術現(xiàn)狀及需求,集成電路制造工藝中相關微納計量與檢測技術進展。
  報告時間:9月18日15:00
  報告地點:仰儀北樓218

個人簡介:
  周維虎,中國科學院微電子所研究員,光電技術研發(fā)中心主任,中國科學院大學崗位教授,博士生導師。1988年至1990年在法國Louis Pasteur大學做訪問學者,2000年在合肥工業(yè)大學精密儀器系獲工學博士學位,2001年4月至2003年4月在美國Wisconsin- Milwaukee大學做博士后,2003年5月至2004年7月在美國Oakland 大學做博士后,2001年至2004年擔任美國Automated Precision Inc.(Maryland,USA)公司高級研究員。擔任科技部科學儀器重大專項總體組專家,科技部制造基礎專項總體組專家,國家02重大專項光學曝光系統(tǒng)總體組專家,全國光電測量標準化技術委員會秘書長,中國計量測試學會計量儀器專業(yè)委員會副主任委員,中國儀器儀表學會光譜儀器專業(yè)委員會副主任委員,華中科技大學、北航、大連理工大學、吉林大學、中國計量大學等高校兼職教授/博士生導師,南京航空航天大學特聘教授,《Optical Engineering》《Measurement Science and Technology》等10余份國外期刊審稿人,多次在國際會議做特邀報告(Invited Talk),多次擔任國際會議分會場主席(Session Chairman)。
  歡迎全校師生參加!

計量測試工程學院
2019年9月16日


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